DOI:10．19392/j．cnki．1671-7341．2023060036S管理方法在微纳加工共享服务平台管理中的应用王妹芳陈长鸿谢石建浙江大学微纳加工中心浙江杭州310027摘要:大型仪器共享平台是推进高校科学研究的重要设施保障，本文基于浙江大学校级仪器共享服务平台“微纳加工中心”的建设经验，针对微纳加工技术的特殊性及其建立共享服务平台带来的挑战，创新性地引入6S现代企业管理方法，建立了一套完善的共享服务平台管理模式，改善实验环境、清除安全隐患，显著提高了设备使用效率，可为同类共享服务平台的建设和管理提供借鉴和参考。关键词:微纳加工;共享服务平台;6S管理近年来，微纳加工技术成为前沿科学研究的通用技术而得到越来越多的关注，它被广泛地应用于微电子、光电子、信息电子、超导量子、生命健康等领域及其交叉学科，尤其在集成电路、微纳电子器件、微机电系统、宽禁带半导体器件、量子通信、生物芯片和高端装备制造等领域，发展非常迅速［1］。国内多所高等院校相继建立了微纳加工实验室及开放共享平台，给相关领域的科研前沿提供技术支撑。由于微纳加工技术的特殊性，对平台管理提出了新要求，本文以浙江大学共享开放平台“微纳加工中心”为例，从平台自身特点出发，介绍6S管理在平台管理中的具体应用。1微纳加工平台特点微纳加工平台是集微米、纳米加工、制造和检测手段于一体的公共技术支撑平台，微纳米技术是高科技发展的重要领域之一，它依赖于微纳米尺度的功能结构与器件，而实现功能结构与器件微纳米化的基础是先进的微纳米加工技术［2］。微纳加工平台与常规实验室具有较大不同，在功能设计上更接近于小型半导体制造工厂，普遍具有以下三个特点［3-6］:(1)实验环境要求高，需要洁净、恒温恒湿、正压的环境，特别是加工纳米级线宽的器件工艺，除了对洁净等级和温湿度的要求外，对震动级别也提出了较高的要求。(2)实验设备类别多并有一定程度的关联性，按照微纳加工工艺的不同大致可以分为图形转移、材料生长、干湿法刻蚀、测试封装、氧化扩散等仪器设备。在工艺开发过程中通常需要多次使用各种不同类型的工艺设备，同时工艺设备的正常使用还有赖于多个厂务辅助设备，如纯水系统、压缩空气机组、空调净化系统、尾气处理装置等。(3)实验危险源多，微纳加工设备不仅涉及高温、低温、高速、高压，通常还需要使用多种危险化学品，如压缩气体和液化气体、易燃液体等。高校及科研院所的微纳加工平台普遍面向社会提供共享服务，具有实验用户专业背...
