（总第297期）电子工业专用设备EquipmentforElectronicProductsManufacturingEEPMDec．2022收稿日期：2022-11-16基于模糊PID控制的电气设备温度控制系统设计与实现于静，戴豪(北京烁科精微电子装备有限公司，北京100176)摘要：为实现对电气设备温度的精准控制，保证电气设备运行的安全性与可靠性，以电气设备为例，从硬件与软件两个方面，开发了一种可用于电气设备的温度控制系统。选择SHT21-46980型号温度传感器、OM49-680型号控制器作为系统主要硬件设备，在硬件设备的支撑下，建立了电气设备温度模糊PID控制目标函数，该设计基于温度输入子集模糊化的电气设备温度控制程序。通过对比实验证明，该系统在实际应用中可缩短控制时间，保证电气设备温度一直处于预设范围内。关键词：模糊PID控制；电气设备；温度控制系统；硬件设计；软件设计中图分类号：TP302.1文献标志码：A文章编号：1004-4507(2022)06-0012-05DesignandImplementationofTemperatureControlSystemforElectricalEquipmentBasedonFuzzyPIDControlYUJing，DAIHao(BeijingSemicoreMicroelectronicsEquipmentCo.，Ltd.，Beijing100176，China)Abstract:Inordertorealizeprecisetemperaturecontrolforelectricalequipmentandensuresafetyandreliabilityofelectricalequipmentoperation，takingelectricalequipmentasanexample，atemperaturecontrolsystemisdesignedfromtheaspectsofhardwareandsoftware.SelectingSHT21-46980typetemperaturesensorandOM49-680typecontrollerasthemainhardwareequipmentofthesystem，withthesupportofhardwareequipment，theobjectivefunctionofelectricalequipmenttemperaturefuzzyPIDcontrolisestablished，anddesignedtemperaturecontrolprogramforelectricalequipmentbasedonfuzzytemperatureinputsubset.Bymeansofcomparativeexperiments，itisprovedthatthedesignedsystemcanshortenthecontroltimeinpracticalapplicationandensurethatthetemperatureofelectricalequipmentisalwayswithinthepresetrange.Keywords:FuzzyPIDcontrol；Electricalequipment；Temperaturecontrolsystem；Hardwaredesign；Softwaredesign半导体制造工艺与设备12（总第297期）电子工业专用设备EquipmentforElectronicProductsManufacturingEEPMDec．2022为避免电气设备在运行中受到外界环境的干扰，通常会将电气设备内置在结构组件柜内，通过这种方式可避免电气设备运行...
