2022年第46卷第10期121PartsandApplicationS器件与应用文献引用格式：韦雪真，白银超，王朋，等.基于GaAs衬底的功分器芯片设计［J］.电声技术，2022，46（10）：121-123.WEIXZ，BAIYC，WANGP，etal.DesignofpowerdividerchipbasedonGaAssubstrate［J］.AudioEngineering，2022，46（10）：121-123.中图分类号：TN912.2文献标识码：ADOI：10.16311/j.audioe.2022.10.034基于GaAs衬底的功分器芯片设计韦雪真，白银超，王朋，郝志娟（中国电子科技公司第十三研究所，河北石家庄050051）摘要：依据Wilkinson功分器原理，将四分之一波长传输线等效为集总参数电路，在GaAs衬底上设计并实现一款20～30GHz宽带功分器芯片。通过工艺线提供的衬底设置和电磁仿真软件建模仿真优化，功分器的测试结果和仿真结果具有较高的一致性。芯片尺寸为0.9mm×0.7mm×0.1mm。探针台在片测试结果表明，功分器芯片在设计带宽20～30GHz内，插入损耗小于4dB，隔离度大于20dB，输入回波损耗和输出回波损耗均优于15dB，具有低损耗、高隔离、驻波好、面积小、成本低的优良特性。关键词：Wilkinson功分器；GaAs衬底；插入损耗DesignofPowerDividerChipBasedonGaAsSubstrateWEIXuezhen,BAIYinchao,WANGPeng,HAOZhijuan(The13thResearchInstituteofChinaElectronicsTechnologyGroupCorporation,Shijiazhuang050051,China)Abstract:BasedontheWilkinsonpowersplitterprinciple,a20~30GHzbroadbandpowersplitterchipisdesignedandimplementedonGaAssubstrate,whichisequivalenttoaquarterwavelengthtransmissionlineasalumpedparametercircuit.Throughthesubstratesetupprovidedbytheprocesslineandsimulationoptimizationoftheelectromagneticsimulationsoftware,thetestresultsofthepowerdividerhaveahighconsistencywiththesimulationresults.Thechipsizeis0.9mm×0.7mm×0.1mm.Theon-chiptestresultsoftheprobestationshowthatthepowersplitterchiphastheadvantagesoflowloss,highisolation,andlowcost,withtheinsertionlosslessthan4dBandtheisolationgreaterthan20dBinthedesignbandwithof20~30GHz.Theinputreturnlossandoutoutreturnlossarebothbetterthan15dB.Keywords:Wilkinsonpowerdivider;GaAssubstrate;insertionloss0引言在微波电路中，功分器用于将功率分配到各个支路中去［1］。其中，Wilkinson功分器是一种结构简单、应用非常广泛的功分器。近年来，随着无线电技术的...
