第一篇：多晶硅太阳能电池制备工艺(论文)

XINYU UNIVERSITY

毕业设计（论文）

（2013届）

题

目 多晶硅太阳能电池制备工艺

二级学院 新能源科学与工程学院

专 业 光伏材料加工及其应用

班 级 10级光伏材料

（一）班

学 号 1003020138 学生姓名 纪 涛 指导教师 胡 耐 根

多晶硅太阳能电池制备工艺

目录

摘要„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„1 Abstract„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„2 第 1 章 绪论„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„3 第 2 章 多晶硅太阳电池制备工艺„„„„„„„„„„„„„„„„5 2.1 一次清洗工序„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„5 2.1.1 一次清洗工序的原理„„„„„„„„„„„„„„„„„„5 2.1.2 一次清洗工序的工艺参数„„„„„„„„„„„„„„„„5 2.2 扩散工序„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„6 2.2.1 扩散原理„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„6 2.2.2 扩散工艺„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„7 2.3 湿法刻蚀的工序及其原理„„„„„„„„„„„„„„„„„„8 2.4 等离子体增强化学气相沉积工序„„„„„„„„„„„„„„„10 2.4.1 等离子体增强化学气相沉积氮化硅薄膜的原理„„„„„„„10 2.5 丝网印刷工序及其工作原理„„„„„„„„„„„„„„„„„11 2.6 测试分选工序及太阳能测试仪的原理 „„„„„„„„„„„„ 13 2.7 小结„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„15 第 3 章 多晶硅太阳能电池行业展望„„„„„„„„„„„„„„„16 参考文献(References)„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„17 致谢„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„18

多晶硅太阳能电池制备工艺

多晶硅太阳能电池制备工艺

摘 要

长期以来随着能源危机的日益突出，传统能源已不能满足能源结构的需求，然而光伏发电技术被认为是解决能源衰竭和环境危机的主要途径。而多晶硅太阳能电池份额占据光伏市场的绝大部分，并呈现逐年上升趋势，有极大的发展潜力。

本文在阐明了国内外光伏市场以及光伏技术发展趋势的基础上，对多晶硅太阳能电池的结构及其特性简述，同时对其制备工艺：一次清洗→扩散→湿法刻蚀去背结→PECVD(等离子体增强化学气相沉积)→丝网印刷→ 烧结→测试分选做简要介绍。

关键词：多晶硅太阳能电池；光伏技术；光伏工艺；

多晶硅太阳能电池制备工艺

Preparation technology of polycrystalline silicon solar cell

Abstract

For a long time as the energy crisis increasingly prominent, the traditional energy cannot satisfy the needs of the energy structure, however, photovoltaic power generation technology is regarded as the main way to solve the crisis of energy exhaustion and environment and polycrystalline silicon solar cell occupies most parts of photovoltaic market share, and presents the rising trend year by year, has great development potential。

This paper illustrates the domestic PV market trends and the development of photovoltaic technology firstly, and makes a brief introduction on the preparation process of polycrystalline silicon solar cell secondly: cleaning →diffusion →wet etching →PECVD →screen printing →sintering →testing and sorting.Keywords: polycrystalline silicon solar cell;photovoltaic technology;photovoltaic process;

多晶硅太阳能电池制备工艺

第 1 章

绪论

随着经济全球化贸易国际化的发展，传统能源煤、石油、天然气等已不再是世界能源市场占有率扩张最快的，相反，新型可再生能源核能发电、水力发电、风能发电、生物质能发电，而光伏行业经历了从航天到地面应用的巨大变化，太阳能发电正飞速增加其市场份额，以求缓解能源危机和环境问题。

鉴于各种新型能源发电的弊端，相比较之下人们普遍认为太阳能发电具备广阔的发展前景。太阳能作为一种新型、洁净、可再生能源，它与常规能源以及其它新型能源相比有以下几个优点[1]：第一：储能丰富，取之不尽用之不竭。第二：不存在地域性限制，方便且不存在输电线路的远程运输问题。第三，洁浄，不会影响生态平衡和人类的身体健康，太阳能发电的种种优势，得到人类社会的一致认可。尤其是在遭受能源衰竭和环境危机的今天，人们更是把它当做缓解能源短缺和环境污染问题的有效途径。世界各地政府纷纷采取一系列相关政策，加大对光伏产业的财政补贴，促使光伏技术快速进步，生产规模不断壮大，早日实现光伏发电的大规模普及。

多晶硅太阳电池是一种将光能转化为电能的光电转换装置，在P 型硅衬底表面，利用POCl3 液态源扩散工艺制得厚度约为0.5um 的N型重掺杂层，P 型层与N 型层接触，形成pn 结，产生光伏效应[2]。同时，正Ag 电极可与N 型重掺杂层形成良好的欧姆接触，用于收集光生电流。位于最上层的氮化硅薄膜起到钝化和减反射的作用。背Al 与P型硅片接触，在烧结的过程中，形成良好的Al 背场，降低背表面复合电流，增加开路电压。

多晶硅太阳电池主要是依靠半导体pn结的光生伏特效应来实现光电转换的[3]。当光线照射到太阳能电池的正表面时，大部分光子被硅材料吸收。其中，能量E=hv＞Eg 的光子就会将能量传递给硅原子，使处于价带的电子激发到导带，产生新的电子-空穴对。新的电子-空穴又会在内建电场的作用下被分离，电子由p区流向n区，空穴由n区流向p区，电子和空穴在pn 结两侧集聚形成了电势差，当外部接通电路后，在该电势差的作用下，将会

多晶硅太阳能电池制备工艺

有电流流过外部电路，从而产生一定的输出功率。其结构和光电转换原理图如下1-1和1-2。

图1-1多晶硅太阳电池结构

图1-2多晶硅光电转换原理 4

多晶硅太阳能电池制备工艺

第 2 章 多晶硅太阳能电池制备工艺

由晶体硅太阳能电池的结构和原理可知，多晶硅太阳能电池的常规制备流程[4]如下：一次清洗（制绒）→ 扩散（形成pn 结）→ 二次清洗（湿法刻蚀去背结）→ PECVD（镀氮化硅）→ 丝网印刷（形成电极和背场）→ 烧结（形成欧姆接触）→ 测试（获得电性能）。接下来，将逐一介绍制备多晶硅太阳能电池各工序的工艺及原理。

2.1 一次清洗工序

2.1.1 一次清洗工序的原理

多晶硅太阳能电池制备流程中的一次清洗工序，主要目的是去除硅片表面的脏污和机械损伤层，在硅片表面形成绒面结构（俗称制绒），增强太阳能电池的陷光作用。我们知道，单晶硅太阳能电池制绒主要是依靠碱的各向异性腐蚀特性，在（100）晶面上形成连续、均匀、细腻的正金字塔结构，从而起到良好的减反射作用。而多晶硅各个晶粒的晶向不一样，若同样采用碱腐蚀，则得不到很好的金字塔绒面化结构。为了得到良好的多晶硅绒面化结构，人们尝试了许多方法，比如反应离子刻蚀法、机械刻槽法和化学腐蚀法等。综合成本以及制备工艺的难易程度考虑，化学腐蚀法在工业化大规模生产中得到了广泛的应用。接下来就对化学腐蚀法制备多晶硅太阳能电池绒面的原理做一下简单介绍。

与单晶硅太阳能电池碱制绒工艺不同的是，多晶硅太阳能电池采取酸制绒工艺。酸制绒体系主要由HNO3 和HF 组成，具体的反应方程式[5]如下： 3Si+4HNO3——3SiO2+2H2O+4NO(2.1)SiO2+6HF——H2(SiF6)+2H2O(2.2)其中，HNO3 作为强氧化剂，将Si 氧化成致密不溶于水的SiO2 附着在硅片表面上，阻止HNO3 与Si 的进一步反应。但SiO2 可以与溶液中的HF 发生反应，生成可溶于水的络合物H2(SiF6)，导致SiO2 层被破坏，此时，HNO3 与Si 再次发生化学反应，硅片表面不断的被腐蚀，最终形成连续致密的“虫孔状”结构。

多晶硅太阳能电池制备工艺

此方法不需要采用特定的反应装置、工艺简单、制造成本低，而且制备出的多晶硅绒面反射率低，可以与双层减反射膜相比。但此方法为纯化学反应，反应的稳定性不易控制，而且影响制绒效果的因素众多，比如滚轮速度、反应温度、硅片掺杂水平以及原始硅片的表面状况等。2.1.2 一次清洗工序的工艺参数

本工序采用由腐蚀槽、碱洗槽、酸洗槽构成的自动制绒设备。在向各槽内配置化学溶液前，需对槽体进行预处理。首先用水枪将滚轮、槽盖、槽体冲洗干净，然后注入一定量的去离子水，让设备自动循环10min 后，排掉污水。再按照上述操作重复一遍，待废水排干净后即可制备化学溶液。

各槽内化学溶液的初始配方[6]为：腐蚀槽：浓度为50%的氢氟酸溶液45L，浓度为68%的硝酸溶液28L；碱洗槽：浓度为45%的氢氧化钠溶液5.2L；酸洗槽：浓度为50%的氢氟酸溶液28L，浓度为36%的盐酸溶液58L。由于各槽是依靠化学反应来对硅片进行腐蚀的，反应的过程中必须伴有新的生成物产生和初始化学品的消耗，这就要求我们按时补液以及换液。

伴随着化学反应的不断进行，我们需要每小时向各槽填充的溶液量为：腐蚀槽：浓度为50%的氢氟酸溶液12.6L，浓度为68%的硝酸溶液11.4L；碱洗槽：浓度为45%的氢氧化钠溶液1.6L；酸洗槽：浓度为50%的氢氟酸溶液0.8L，浓度为36%的盐酸溶液2.4L。另外，腐蚀槽每生产156×156(cm2)规格的硅片15万片后，需重新制配腐蚀液；设备连续一小时以上不生产时需把腐蚀液打回储备槽；碱槽溶液和酸槽溶液在配置250h 后必须重新配液。否则都将影响最终制得的多晶硅太阳能电池片的电性能。

2.2 扩散工序

2.2.1 扩散原理

扩散实际上就是物质分子从高浓度区域向低浓度区域转移，直到均匀分布的现象。太阳能电池制备流程中的扩散工序，就是在P 型衬底上扩散一层N 型杂质，进而形成太阳能电池的心脏--pn 结。多晶硅太阳能电池的扩散方式有很多种，比如三氯氧磷（POCl3）液态源扩散、喷涂磷酸水溶液后链式扩散、丝网印刷磷浆料后链式扩散等。本文着重采用三氯氧磷（POCl3）液态源扩散工艺来制取pn结，下面是三氯氧磷（POCl3）液态源扩散的原理

多晶硅太阳能电池制备工艺

[7]：氮气携带的POCl3 在某种特定的条件下，可分解成五氧化二磷（P2O5）和五氯化磷（PCl5），具体反应方程式如下：

5POCl3→3 PCl5+ P2O5（T＞600℃）（2.3）

生成的P2O5 在800-900℃的高温下与Si 反应，生成磷原子和SiO2，具体反应方程式如下：

2P2O5+5Si→5SiO2+4P↓（2.4）

由以上化学反应方程式可得，POCl3 在没有O2 的条件下，热分解生成PCl5，而PCl5 极不易分解，且对硅表面有很强的腐蚀作用，严重损害了硅片的表面状态以及pn 结的质量。当有外来足够的O2 存在时，PCl5 就会进一步分解，生成P2O5和Cl2，具体反应方程式如下： 4PCl5 + 5O2→2P2O5+10Cl2↑（2.5）

生成的P2O5 可再一次与硅发生化学反应，生成磷原子和SiO2。由此可见，在POCl3扩散的过程中，必须通入一定流量的O2 来避免PCl5 对硅片表面的损伤。在过量O2 存在的条件下，POCl3 液态源扩散的总化学反应方程式为： 4POCl3 +5O2→2P2O5 +6Cl2↑(2.6)由总反应方程式可得，POCl3 热分解生成的P2O5 附着在硅衬底表面，在扩散高温条件下又与Si反应生成磷原子和SiO2，即在硅衬底上覆盖一层较薄的磷-硅玻璃层，接着磷原子向硅体内徐徐扩散。为了提高扩散的均匀度，避免硅片表面死层的形成，通常在POCl3 扩散之前使硅表面热氧化，生成一层极薄的氧化层，来控制反应速度。2.2.2 扩散工艺

扩散工序采用的设备是捷佳伟创扩散炉DS300A，它是在48 所和centrotherm扩散炉的基础上改进得来的，主要优势有以下两点： 1)喷淋扩散。传统48 所扩散设备是在炉尾通源，炉口排废，而捷佳伟创设备是在石英管内的上部安装一个喷淋管，直接将源喷在硅片上。相对于48 所设备，此种扩散工艺调节更加简单，重复性好，无需考虑温度补偿浓度梯度问题。同时，每个硅片所接触的磷源会更加均匀，进而提高方块电阻均匀性。

2)软着陆系统。石英舟承载在石英舟托上，由舟浆将石英舟托送入炉

多晶硅太阳能电池制备工艺

管内，然后舟浆退出，属于闭管扩散。相对于48 所设备，这样可以避免舟浆引入污染，同时由于对排废的特殊处理，不需要频繁清洗舟浆和石英炉管。

扩散过程可以简单概括为：预扩→主扩→推扩。优化的磷扩散工艺具备如下特点：

1)同时进行磷源的再分布和硅片表面的三次氧化。此时磷源总量一定，预沉积杂质源缓慢的向硅片体内扩散，便于形成平坦的pn 结，提高了扩散的方块电阻均匀性。

2)高温扩散过程中不再伴有硅片与高浓度的磷直接接触。减少了硅片表面以及势垒区的缺陷和复合中心，提高了多晶硅太阳能电池的开路电压和短路电流。

3)两步扩散法制备 pn 结，制备条件相对宽松，工艺参数调节余地大。预沉积杂质总量基本不受温度波动的影响，限定源表面扩散也不受扩散气氛以及环境的影响，这就大大增强了扩散的均匀性以及重复性。

采用改进的磷扩散工艺，对最终制得晶体硅太阳能电池片的电性能有了很大改善，尤其是在开路电压Voc 和短路电流Isc 方面。详见下图2.3 和

图2.3 一步扩散与两步扩散Voc 对比图 图2.4 一步扩散与两步扩散Isc 对比图

2.3 湿法刻蚀工序及其原理

对于多晶硅太阳能电池来说，并联电阻（Rsh）[8]是一个很重要的参数，Rsh 过小将会导致漏电流增大，影响电池最终的短路电流、填充因子以及转换效率。Rsh分为体内并联电阻和边缘并联电阻两类，对于一个太阳能电池片来说，一般20%的泄露电流通过体内并联电阻，而80%的泄露电流通过边缘并联电阻。工业上实现量产的多晶硅电池扩散方式均为单面背靠背扩散，多晶硅太阳能电池制备工艺

不可避免地使电池的四周也扩散了一层n 型层，它将电池的正电极与背电极跨接在一起，形成很大的漏电流，因此未达到分离pn 结的作用。本文主要采用正面无保护的湿法刻蚀方法将电池背面的pn 结去除，以达到分离pn 结的效果。其原理如下： 第一步：硅片表面氧化过程

氧化过程的激活，硅表面被硝酸氧化，生成一氧化氮或二氧化氮，见式（3.7，3.8）：

Si+4HNO3=SiO2+4NO2+2H2O（3.7）Si+2HNO3=SiO2+2NO+2H2O（3.8）

氧化过程的延伸，生成物一氧化氮、二氧化氮进一步与水反应，得到的二级产物亚硝酸迅速将硅氧化成二氧化硅，见式（3.9,3.10,3.11）： 2NO2+H2O=HNO2+HNO3（3.9）Si+4HNO2=SiO2+4NO+2H2O（3.10）4HNO3+NO+H2O=6HNO2（3.11）

由上式可知，硅片表面氧化所发生的一系列化学反应是一个循环过程，氮氧化合物是硝酸最终的还原产物，二氧化硅是与腐蚀溶液接触的硅片背表面的氧化产物。第二步：二氧化硅溶解过程

氧化产物二氧化硅，将快速与混合液中的氢氟酸反应，生成六氟硅酸，见式（3.12,3.13）：

SiO2+4HF=SiF4+2H2O（3.12）SiF4+2HF=H2SiF6（3.13）总反应式为：

SiO2+6HF=H2SiF6+2H2O（3.14）

可见，最终腐蚀掉的硅将以六氟硅酸的形式溶入溶液中。实际上，湿法刻蚀的工艺原理与一次清洗的工艺原理相同，只不过是通过控制混合液内HF 和HNO3的浓度比来形成制绒腐蚀或抛光腐蚀。

采用湿法刻蚀去背结工艺将扩散后电池片的正面与背面pn 结分开，与其它方法相比具有以下优点：

多晶硅太阳能电池制备工艺

1)等离子体刻蚀法将硅片边缘发射极刻掉，需要用到 CF4 毒性气体，且刻蚀过程中设备周围存在微波辐射，给人体健康带来的危害极大。另外，此种工艺成本较高，电池片间互相挤压的过程容易导致碎片，降低电池片的成品率。

2)激光或金刚石刀将边缘发射极直接切掉，将会减少电池的有效面积，降低电池片的功率。

3)用正面无保护的湿法刻蚀方法来代替上述两种方法分离pn 结，不仅避免了CF4 毒性气体的使用和太阳能电池片的碎裂，而且使硅片背表面抛光，有效地提高了太阳能电池的电性能。

2.4 等离子体增强化学气相沉积工序

2.4.1 等离子体增强化学气相沉积氮化硅薄膜的原理

等离子体增强化学气相沉积技术[9]（PECVD）的工作原理为：在真空压力下，加在电极板上的射频（低频、微波等）电场，使反应室内气体发生辉光放电，在辉光发电区域产生大量的电子。电子由于受到外加电场的加速作用，其自身能量骤增，它可通过碰撞将自身能量传递给反应气体分子，从而使反应气体分子具有较高的活性。这些活性分子覆盖在硅基底上，彼此间发生化学反应，制得所需的介质薄膜，产生的副产物被真空泵抽走。我们可以运用PECVD 技术制作各种器件的钝化膜、减反射膜，还可用其制作扩散工艺的阻挡层。本文采用PECVD技术，在硅片表面沉积一层氮化硅薄膜，具体原理在350℃，等离子射频：SiH4 + 4NH3 —— Si3N4 + 12H2（2.15）此法制备的氮化硅薄膜具有减反射和钝化的作用，其减反射原理图[12]如下：

图2.8 氮化硅薄膜减反射原理图

我们知道，减反射的原理就是让如图2.8 所示的两束反射光R1、R2 产

多晶硅太阳能电池制备工艺

生相消干涉，即它们的光程差为半波长。可以通过调整制备工艺来获得合适厚度和折射率的Si3N4 薄膜，使其满足减反射条件。氮化硅薄膜在起到减反射作用的同时，还可以对硅片表面和体内进行钝化。由于多晶硅表面存在很多的表面态、晶界[10]、缺陷以及位错等，在薄膜沉积过程中，大量的H 原子（离子）进入薄膜，饱和了硅片表面大量的悬挂键，起到降低表面复合中心的作用，从而提高太阳能电池的短波响应与开路电压。氮化硅薄膜的体钝化作用对于多晶硅太阳能电池来说特别明显，因多晶硅体内存在大量的缺陷、位错以及悬挂键，氮化硅薄膜中的氢原子可以在烧结时的高温条件下扩散到硅体内，进而饱和绝大部分缺陷以及悬挂键，有效降低了少数载流子复合中心浓度，增加少子收集能力，提高短路电流。

氮化硅薄膜是一种物理和化学性能都十分优良的介质膜[11]。它不仅具备减反射和钝化的作用，同时在光电领域也有一席用武之地。例如：氮化硅薄膜极硬而且耐磨，非晶态硬度高达HV5000；结构非常致密，气体和水汽极难穿过；疏水性强，可大大提高器件的防潮性能；较好的化学稳定性，在600℃时不会与铝发生反应，而二氧化硅在500℃时与铝反应已比较显著。对可动离子(如Na+)有非常强的阻挡能力；可靠的耐热性和抗腐蚀性，在1200℃时不发生氧化；在一定浓度的硫酸、盐酸中有较好的抗腐蚀性，只能用氢氟酸腐蚀等。

2.5 丝网印刷工艺及其原理

丝网印刷工序，就是在镀膜后硅片的正反两面印刷电极、背电场，经过烧结后使其能够很好的收集光生电流并顺利导出，实现电能与光能之间的高效转化。丝网印刷和高温快烧是构成金属化工序的主要组成部分。

图2.11 丝网印刷工艺的原理图

多晶硅太阳能电池制备工艺

丝网印刷的原理，就是将带有图案的模板附着在丝网上，利用图案部分网孔透过浆料，而非图案部分不透浆料的特征来进行印刷。丝网印刷工艺由5部分构成，即丝印网版、印刷刮刀、电子浆料、印刷台面和承印物，如上图2.11所示。印刷时，在网版一端倒入浆料，并用刮刀对网版中的浆料边施加压力边朝另一端推动。浆料在移动的过程中透过网孔被刮刀挤压到承印物上。由于印刷过程中，刮刀、丝网印版、承印物三者始终呈线接触，且浆料具有一定得粘性，这样就确保了印刷质量和印刷精度。

丝网印刷工序可细分为浆料的印刷和浆料的烘干处理两部分。电极浆料主要使用的是电子浆料，它由四部分组成：由贵金属及其混合物构成的金属粉末，在整个成分中充当导电相，决定了电极的电性能；无机粘合剂和有机粘合剂，决定了烧结前后电极与半导体的接触情况，合适的配比，可以有效加强电极和硅片之间的抗拉伸能力；其它添加剂，主要是起到润滑，增稠，流平和增加触变的作用。

丝网印刷工艺的制备目标因浆料种类、电极位置以及电极作用不同而不同。对于起收集光生载流子并对外导出电流作用的正Ag 电极来说，我们希望印刷后制得的正电极具备较低的遮光面积、金属栅线电阻以及金属半导体欧姆接触电阻；对于起汇集背面电流并对外导出电流作用的背Ag/Al 电极来说，我们希望其能与涂锡焊带、硅片背表面以及铝背场[12]形成良好的接触，使串联电阻Rs 降低；对于起收集背部载流子并对背面进行钝化作用的Al 背电场来说，我们希望其能在硅片背表面引入均匀的p+层，尽可能的降低背面光生载流子复合几率，同时还需控制背场印刷所引起的翘曲度弯曲。每一道印刷工序后的烘干，实际上是为了使硅片表面电子浆料中的有机溶剂挥发，形成可与硅片紧密粘结的固体状金属膜层。

烘干后的烧结工艺，实际上是为了使硅片和电极间形成良好的欧姆接触。首先，将半导体多晶硅和金属电极加热到共晶温度，此时半导体内的硅原子将按某种比例快速向熔融的合金电极中扩散。合金电极中的多晶硅原子数目由电极材料的体积和合金温度决定，电极材料的体积越大，烧结温度越高，则合金电极中的硅原子数目越多。如果此时温度骤降，将会在合金电极附近出现再结晶层，即固态硅原子从金属和硅界面处的合金中析

多晶硅太阳能电池制备工艺

出，生长出外延层。如果外延层中含有足够的杂质成分，则获得了良好合金结，同时也形成了良好的金属半导体欧姆接触[12]。

烧结采用红外加热的方式进行高温快烧，主要是为了让硅片表面的正电极穿透氮化硅薄膜，与硅片之间形成良好的欧姆接触，降低串联电阻，提高填充因子；促进镀膜工序引入的氢原子向硅体内扩散，增强其对硅的体钝化作用；形成均匀良好的铝背场，提高开路电压。

2.6 测试分选工序及其太阳能测试仪的原理

太阳能测试仪最初主要用来测量太阳能电池片的电性能参数，但随着测试技术的发展，目前集成的太阳能电池测试系统还可以进行EL测试（太阳能电池组件缺陷检测）、外观测试。太阳能电池测试系统要求：能够根据测试时间控制太阳光模拟器的开关，通过采样电路、温度传感器和数据采集卡(DAQ)读取太阳能电池的即时电流、电压和相应的温度及光谱测量值等参量，经过计算机的数值运算处理，得到逼近标准测试条件下的I值和V 值，从而绘出逼近标准测试条件下的I/V 特性曲线[13]。下图3.12为太阳能电池测试仪的结构图，其中采用高压短弧氙灯来模拟自然光。

图3.12 太阳能电池硬件测试系统框图

地面用太阳能电池的国际标准测试条件为：辐照度：1000W/m；电池

2温度：25℃；光谱分布：AM1.5[14]。通常，我们采用太阳能模拟器来模拟上述测试条件，进行多晶硅太阳能电池片的I-V 曲线测试。模拟光与自然光相比，具有以下优点：模拟光可选择性好，比如连续发光或闪光；模拟光的辐照度相对稳定，且在一定范围内可调；模拟光使用范围广，不受时间、气候等因素限制；模拟光便于与生产线集成光伏测量系统；另外，与自然光相比，模拟光光谱分布的稳定性较好，测试可重复性高；实际的自然光

多晶硅太阳能电池制备工艺

光谱与国际标准测试条件要求的有差异，且不稳定。种种原因表明，模拟光更适用于光伏测试系统的集成。

因太阳能光伏组件最终是在露天的环境下使用，所以太阳能测试仪的电性能测试结果应尽可能的与户外使用结果相拟合。常见的太阳能测试仪运用氙灯来模拟自然光，如下图2.13 所示为氙灯与AM1.5 光谱对比图[15]。

图2.13 氙灯与AM1.5 光谱对比图

由上图可得，AM1.5 光谱在可见光区与氙灯光谱十分相似，而多晶硅太阳能电池片的主要光吸收区即是可见光区，因此，氙灯被广泛的用来模拟太阳光。

太阳能电池各电性能参数的测试原理[16]：短路电流（Isc）：国际标准测试条件下，电池外电路短路时的输出电流；开路电压（Voc）：国际标准测试条件下，电池外电路断开时的端电压；最大功率（Pmax）：电池输出特性曲线上，I·V 乘积最大时所对应的功率；串联电阻（Rs）：指与P-N 结串联的电池内部电阻，主要由硅体电阻、欧姆接触电阻、发射区电阻等组成；并联电阻（Rsh）：指跨连在电池两电极间的等效电阻；填充因子（FF）：Pmax 与（Voc·Isc）之比；转换效率（η）：Pmax 与电池所受总辐射功率的百分比。2.7 小结

本章要主要论述了多晶硅太阳能电池制备流程（一次清洗→ 扩散→ 湿法刻蚀去背结→ PECVD →丝网印刷→ 烧结→测试分选），以及制备原理和过程。

多晶硅太阳能电池制备工艺

第三章 多晶硅太阳电池行业展望

太阳能光伏上下游产业链，包括上游的硅材料、光伏电池制造与封装工艺、支撑行业和光伏发电应用等领域。

目前重庆首例居民分布式光伏发电项目成功并网

[17]，如下图，这充分说明光伏产业在逐步深入市场，并将有更广阔的民用市场。

图－居民光伏发电项并网

纵观整个光伏市场走势，虽然目前太阳能行业处于市场低迷期，但随着工艺的改进和制造成本的降低以及国内市场的逐步打开，同时企业也要节能减材，不断进行低迷期技术潜能性研究，会使太阳能行业最终走向市场供不应求或供需平衡的态势。

由于多晶硅太阳能电池是目前相比与单晶硅和多晶硅的转换效率高且能批量生产的一种太阳能能电池，多晶硅电池的制作工艺不断向前发展，保证了电池的效率不断提高，成本下降，随着对材料、器件物理、光学特性认识的加深，导致电池的结构更趋合理，实验室水平和工业化大生产的距离不断缩小，各工艺如丝网印刷和埋栅工艺为高效、低成本电池发挥了主要作用，高效Mc—Si电池组件已大量进入市场，随着工艺的不断优化，生产成本的不断降低，多晶硅将对于光伏建筑、光伏发电、光伏水泵等有广阔的前景。

光伏发电技术若想快速大规模普及，必须实现高效、低成本。高效是降低成本的另一种方式。目前推出的可实现量产的新型高效多晶硅太阳能电池，均是在常规制备工艺的基础上改进得来，也就是说，前者若想发挥高效的潜能，前提是常规多晶硅太阳能电池制备工艺成熟且达到最优化。我国目前光伏技术仍处于低级阶段，制备工艺仍不完善，还有很大的优化以及改进空间。

多晶硅太阳能电池制备工艺

参考文献

[1] 王瑶.单晶硅太阳能电池生产工艺的研究：[硕士学位论文].长沙：湖南大学微纳光电器件及应用教育部重点实验室，2010 [2] 刘志刚.多晶硅太阳电池新腐蚀液的研究及其应用：[博士学位论文].上海：上海交通大学理学院物理系，2006 [3] 向磊.全球光伏产业发展状况及趋势.世界有色金属，2010，(8)，23-24 [4] 吴正军，梁海莲，顾晓峰.选择性发射极参数对太阳电池光电特性的影响.纳米器件与技术，2010，（4）：202-206 [5] 屈盛，刘祖明，廖华，等.选择性发射极太阳电池结构及其实现方法.技术交流，2004，（8）：42-45 [8]马丁·格林.太阳能电池工作原理、工艺和系统的应用.北京：电子工业出版社，1989 [9]K.Graff，H.Pieper.Semiconductor Silicon 1973.Journal of the Electrochemical Society，1973，170 [10]万群.奇妙的半导体[M].北京：科学出版社，2002，252-255 [11]姚日英.PECVD 沉积的氮化硅薄膜热处理性质研究：[硕士学位论文].杭州：浙江大学材料与化学工程学院，2006 [12]霍李江.丝网印刷实用技术.北京：印刷工业出版社，2007 [13]M.A.Green，AW.Blakers，S.R.Wenham，et al.Improvements in Silicon Solar Cell Efficiency.18th Phtovoltaic Specialists Confrence，Las Vegas，1985，39-42 [14]王立建，刘彩池，孙海知，等.多晶硅太阳电池酸腐表面织构的研究.光电子激光，2007，18（3）：289-291 [15]安其霖.太阳电池原理与工艺[M].上海：上海科学技术出版社，1984，20-2

3[16]狄大卫，高兆利，韩见殊，等.应用光伏学.上海：上海交通大学出版社，2009

[17]重庆电力公司，中新能源频道，科技日报2013年05月10日

多晶硅太阳能电池制备工艺

致 谢

本论文是在导师胡耐根老师的悉心指导和关怀下完成的。感谢胡老师对我的辛勤指导和培育。从论文的立题到论文的撰写整个过程无不浸透着老师的心血。他广博的学识，严肃的科学态度，严谨的治学精神，灵活的思维方式，耐心细致的言传身教深深感染激励着我，将使我终身受益。导师不但在学习上给予我耐心细致的指导，在生活中也给了我关怀，这份师恩我将终身难忘。

同时感谢同组同学在完成论文中给予的帮助。我们在完成论文的过程中与同学互相讨论、互相协作下建立深厚的感情，同时我也学到了每个同学的为人处事的精神。另外，我要感谢在这几年来对我有所教导的老师，他们孜孜不倦的教诲不但让我学到了很多知识，而且让我掌握了学习的方法，更教会了我做人处事的道理，在此深表感谢。我还要向我的同学们表示感谢，感谢10级光伏材料(1)班所有同学以及丁辅导员对我生活和学业上的关心和帮助,我为自己能够在这样一个温暖和谐的班级体中学习工作，深感温暖、愉快和幸运。

最后向多年默默支持我和关心我，不断给我信心、支持我上进，使我顺利完成大学学业的家人，特别是我的父母，献上我最真挚的谢意和最美好的祝福。

第二篇：中药制剂制备工艺

药剂制备 发明专利(131条)记录号 申请号 专利名称 200410004531.4 一种治疗烧烫伤的中药膏剂“速效烧烫伤膏”及其制备方法200410021435.0 一种抗病毒作用的药物制剂及其制备方法03129669.6 一种中西药复方糖锭制剂及制备方法 200410022512.4 治疗心脑血管疾病的中药药物制剂及其制备方法200410037772.9 一种用于卫生巾的天然保健药物添加剂及其制备方法200410023329.6 一种治疗乳疾的中药片剂及其制备方法 200410000311.4 一种难溶性药物微丸的制备方法及包含该微丸的制剂200410058353.3 一种提高生物利用度及药效的中药宫炎平制剂和制备方法200410080304.X 一种提高生物利用度及药效的中药复方风湿宁制剂和制备方法200310117367.3 一种中药粉针剂及其制备方法 200410052029.0 苦豆子总碱提取物在制备溃疡性结肠炎药物中的应用及结肠靶向制剂的制备方法200410067541.2 砂仁挥发油纳米脂质体混悬液药剂的制备方法200410086704.1 一种提高药效的中药骨科制剂及制备方法200410082772.0 一种药物透皮吸收剂及其制备方法

***6964.4 一种提高生物利用度及药效的妇科中药复方制剂和制备方法89109456.3 一种医治痛经的药物制剂的制备方法90105103.9 一种中药丸剂的制备方法90108522.7 医用肿瘤圈疗新药剂的制备方法90105957.9 新型中药方便汤剂的制备方法90110398.5 防治爱滋病中药方剂的制备方法91101137.4 以胡萝卜为药剂辅料的药剂制备方法92109273.3 治疗血小板减少药剂的制备工艺92112208.X 防治更年期综合症药剂的制备方法92106111.0 一种速效退热中药冲剂的制备方法93111201.X 一种中药药剂的制备方法93117965.3 药魁搽鼻剂及其制备工艺 94100106.7 一种治疗皮肤病的中药膏剂及其制备工艺94102387.7 一种中药浴剂及其制备方法 29 95114868.0 一种外用中药膏剂及其制备方法95107554.3 药浴剂及其制备方法

95118390.7 一组富硒北冬虫夏草药品制剂及其制备方法

95111683.5 防治肿瘤放、化疗毒副反应的固真药剂及其制备方法

95112792.6 一种降血铅的口服药剂及其制备方法

97105860.1 一种耳穴给药治疗牙痛病的外用酊剂的制备方法

97116084.8 一种治疗风湿类风湿的药物制剂及其制备方法

97119051.8 治疗乙肝病的中药剂及其制备方法

97121668.1 治疗男士性功能障碍的外用中药膏制剂及制备方法

97119159.X 一种治疗重症肌无力的药物－参龟培元颗粒剂及其制备方法

02125500.8 抗疲劳复方中药方剂及其制备方法

02139358.3 治疗妇女痛经的中药药剂及其制备方法

02129269.8 治疗中风先兆的药物制剂及其制备方法

02139191.2 一种能保持药效的中药、保健食品泡腾片剂制备方法

03124694.X 一种治疗糖尿病的药剂及其制备方法

200310121217.X 药剂的新制剂及其制备和应用方法

03110992.6 苦碟子固体药物制剂及制备方法

03111062.2 治疗皮肤病的中药液剂及其制备方法

200310103214.3 一种抗癌参芪扶正中药制剂及制备方法

03121130.5 一种治疗妇科疾病的中药片剂及其制备工艺

03146749.0 一种治疗外感热病的内服药剂及其制备方法

200310116209.6 一次性祛除扁平疣灶的外用中药方剂及其制备工艺

03111688.4 治疗慢性盆腔炎的中药复方药物及其几种剂型的制备方法

200410000922.9 一种治疗乙型肝炎的中药水丸制剂及其制备方法

200410014028.7 一种治疗或预防血栓闭塞性疾病的中药粉针剂的制备工艺

200410082881.2 一种治疗骨伤疾病的药物制剂及其制备方法

200410082882.7 一种复方银杏叶山楂药物制剂及其制备方法

200410005162.0 一种纯中药单方水剂的制备方法及用途

200410061442.3 中药膏贴剂基质及用该基质制备的外用膏贴制剂

200510002510.3 一种治疗乙肝鼻闻药剂的制备方法 59 200410007963.0 一种黄芪甲苷原料药的制备方法及其原料药和制剂

02110496.4 一种治疗近视中药丸剂和眼药水及其制备方法

01129071.4 一种治疗心血管疾病的复方中药颗粒药剂及其制备方法

01134798.8 预防和治疗精神病的中药口服液及药剂制备方法

02132438.7 一种治疗骨关节疾病的中药膏剂及制备方法

01131874.0 中药原药材的颗粒剂型及其制备方法

00116205.5 含有血竭的药剂及制备方法

03126774.2 一种治疗哮喘的中药粉末吸入剂、其制备方法及应用

02116431.2 一种治疗盆腔炎的药物及其药物制剂和制备方法

99117885.8 一种治疗强直性脊柱炎的药剂及制备方法

98122877.1 一种治疗银屑病的中药药物组合物的口服制剂及制备方法

99103353.1 治疗风湿病的中药丸剂及其制备方法

98808225.X 药剂的新制剂及其制备和应用方法

99113718.3 一种含有冰片的中药丸剂的制备方法

98121477.0 治疗脉管炎药散剂及制备方法

99109280.5 一种治疗肝癌药剂的制备方法

99109571.5 一种治疗断指再植药剂的制备方法

99109570.7 一种治疗痹症药剂胶囊的制备方法

99109889.7 一种治疗类风湿性关节炎药剂的制备方法

99117699.5 中西药牙痛散剂及制备方法

99119384.9 一种治疗肝炎病的中成药剂及制备方法

99116908.5 含木芙蓉叶提取物的药剂及制备方法

00113734.4 单味中药片剂、颗粒、胶囊的制备方法

01106510.9 一种治疗冠心病的中药片剂的制备方法及设备

00114205.4 药物颗粒具有包衣层的口服制剂的制备工艺

00115424.9 一种含有冰片的中药丸剂的制备方法

00113829.4 中药复方参花膏透皮给药制剂及其制备方法

00103569.X 中药酒剂及其制备方法

99126393.6 一种治疗甲肝鼻闻药剂的制备方法

99126394.4 一种治疗乙肝鼻闻药剂的制备方法 89 99126395.2 一种治疗肝硬化腹水鼻闻药剂的制备方法

00100136.1 治疗男女不育不孕药剂的制备方法

00129444.X 一种治疗充血性心力衰竭药剂及其制备方法

01103137.9 戒酒中药药剂及其制备工艺

01106566.4 微米中药片剂及其制备方法

01110798.7 治疗乳腺炎淋巴结核及各种疔毒疮的膏药剂及其制备方法

02111558.3 一种治疗发热的鼻腔给药制剂及其制备方法

97120320.2 一种治疗风湿和类风湿病的中药丸剂及其制备方法

97123277.6 防治果树表皮病害的中药膏剂及其制备方法

97121965.6 治疗心脑疾病的中药药氧雾化制剂及制备方法

98123120.9 一种治疗久治不愈的痈、疡、疮毒的油状细药粉剂及其制备方法

98100551.9 用植物制备的外用中药水剂、制备方法及其用途

99101130.9 治疗性功能障碍症的中药剂育精灵及其制备方法

98110211.5 治疗手、足癣的中西药制剂及其制备方法

97108169.7 补肾健脾益气扶阳的中药酒剂及其制备方法

200510004922.0 一种由三

七、沙棘、沙苑子制成的治疗心脑血管疾病的药物制剂及其制备方法

200510004925.4 一种由三

七、川芎制成的治疗心脑血管疾病的药物制剂及其制备方法

200510004926.9 一种由三

七、刺蒺藜制成的治疗心脑血管疾病的药物制剂及其制备方法

200510004927.3 一种由三

七、葛根制成的治疗心脑血管疾病的药物制剂及其制备方法

200510004928.8 一种由三

七、红花制成的治疗心脑血管疾病的药物制剂及其制备方法

200510004929.2 一种由三

七、沙苑子制成的治疗心脑血管疾病的药物制剂及其制备方法

200510004931.X 一种由三

七、银杏叶制成的治疗心脑血管疾病的药物制剂及其制备方法

200510004932.4 一种由三

七、沙棘制成的治疗心脑血管疾病的药物制剂及其制备方法

200510004934.3 一种由三

七、黄杨木制成的治疗心脑血管疾病的药物制剂及其制备方法

200510004935.8 一种由三

七、红景天制成的治疗心脑血管疾病的药物制剂及其制备方法

200510023846.8 一种防治骨质疏松症的药物制剂及其制备方法

1***1628.7 小儿退热中药巴布剂贴布及其制备方法

200510038425.2 一种抗肿瘤药物23-羟基白桦酸脂肪乳剂及其制备方法

200510042176.4 一种治疗糖尿病的药物制剂及其制备方法

200510046188.4 一种治疗风湿性关节炎的药物及其喷雾剂的制备工艺 119 200510070628.X 一种治疗冠心病的药物制剂及其制备方法

200510031302.6 一种活血化瘀、通脉舒络的中药粉针剂及其制备方法

200510046469.X 治疗前列腺疾病的中药片剂的制备方法

200510075043.7 一种中药膏剂组合物、其制备方法、其巴布剂及其制备方法

200510081573.2 一种益气生血的复方药物制剂及其制备方法

200510081576.6 一种治疗颈椎病的药物制剂及其制备方法

200510081577.0 一种治疗骨伤科疾病的药物制剂及其制备方法

200510200373.4 治疗心脑血管疾病的中药药物制剂及其制备方法

200410049948.2 一种治疗关节炎的中药粉针剂及其制备方法

200510082772.5 一种千斤肾安宁药物制剂及其制备方法

200410052816.5 一种适用于难溶性药物的药用乳剂及其制备方法

200510108374.6 一种治疗甲肝鼻闻药剂的制备方法

200510098746.1 一种黄山药总皂甙注射剂及其制备方法

制备,剂(中药)2 痤疮搽剂的制备与临床应用 揣莘桂 左文英...中国校医-2005-1 3 肤康涂膜剂的制备与质控研究 盛国荣 中国现代应用药学-2005-1 4 胃肠舒宁颗粒剂的制备与临床应用 董传海 高莹...中成药-2005-1 5 萘丁美酮干混悬剂的制备及其初步稳定性研究 陆军[1] 曹芳[2]...华西药学杂志-2005-1 6 小儿咳喘合剂的制备及临床观察 刘辉 江西中医药-2005-1 7 痔瘘熏洗剂的制备及临床应用 刘瑞香 姜冰 甘肃中医-2005-2 8 肺栓塞显像剂^99mTc—SZ51-F（ab）2的制备及犬实验显像研究 季顺东[1] 周俊东[3]...中华医学杂志-2005-5 9 咽喉炎喷雾剂的制备与应用 张小艺 陈登丰 中国民间疗法-2005-1 10 复方司帕沙星膜剂的制备与质量控制 范志佳[1] 朱庄庄[2] 中国药师-2005-2 11 脂质体鬼臼毒素壳聚糖膜剂的制备及其体外生物黏附性的研究 朱晓亮 曾抗...中国麻风皮肤病杂志-2005-1 12 紫坤合剂的制备及质量标准研究 吴静芬 张媛媛...黑龙江中医药-2005-1 13 肺舒合剂的制备与临床应用 齐建 张敏 时珍国医国药-2005-1 14 舒筋壮骨合剂的制备与临床应用 丁磊如 陈祝霞 时珍国医国药-2005-1 16 纳米乳剂的制备及特性鉴定 孙玉静 吴道澄...第四军医大学学报-2005-3 17 纳米乳剂的制备及特性鉴定 孙玉静[1] 吴道澄[2]...细胞与分子免疫学杂志-2005-1 18 炉甘石制霉菌素洗剂的制备及临床应用 陈泽彬[1] 李卫红[2] 现代医药卫生-2005-1 19 温胃舒颗粒剂的制备与临床应用 王薇 马明...中国药师-2005-1 20 通宣理肺胶囊剂的制备及质量控制 李玉霞[1] 刘晓[1]...实用中医药杂志-2005-1 21 复方妥布霉素滴眼剂的制备及质量控制 曹淑娟[1] 姜华[2] 中华现代眼科学杂志-2004-4 22 复方替硝唑含漱剂的制备及质量控制 冯淑玲 林宇星 海峡药学-2004-6 23 明目冲剂的制备与临床疗效观察 李糜糜[1] 黄永健[2] 海峡药学-2004-6 24 乳膏剂制备方法研究进展 聂继红[1] 王萍[1]...新疆医学-2004-6 25 利咽合剂的制备及疗效观察 高学文 刘玉明...中华临床医学杂志-2004-12 26 核酸、蛋白多肽及疫苗乳剂的制备方法 无 化工中间体导刊-2004-1 27 盐酸左氧氟沙星眼用凝胶剂的制备及临床应用 陈斗仁[1] 张国阳[2] 江苏药学与临床研究-2004-6 28 复方洛美沙星鼻腔凝胶剂的制备及临床应用 唐洁 西北药学杂志-2004-6 29 依沙吖啶胶浆剂的制备 洪子光 广东药学-2004-6 30 老鹳草颗粒剂的制备探讨 史伟国 刘娟 黑龙江医药科学-2004-6 31 消炎利胆冲剂的制备及薄层鉴别 张红梅[1] 艾秀娥[2] 延安大学学报：医学科学版-2004-3 32 崩漏停胶囊剂制备及质量控制 杨社华 杨孝来...卫生职业教育-2004-23 33 小儿止汗合剂的制备及临床观察 张献菊 张茂 激光杂志-2004-6 34 妇洁净洗剂的制备、质量控制及其临床应用 杨弃尘 江苏中医药-2004-12 35 痤疮洗剂的制备及疗效观察 李国成 陈广惠...中国临床医药研究杂志-2004-130 36 银菊明目合剂的制备及临床观察 郭平华 齐翠英...中国医院药学杂志-2004-12 37 101澄清剂与醇沉法制备芪黄口服液的比较 潘细贵[1] 雷湘[2]...中国医院药学杂志-2004-12 38 小儿清热灌肠剂制备工艺实验研究 王京霞 许家鸾 现代应用药学-2004-3 39 亲血栓性靶向超声造影剂的制备及体外实验初步研究 夏红梅 高云华...中华超声影像学杂志-2004-11 40 用Rh（D）阳性红细胞吸收制备抗-D试剂血清 肖瑞卿 林武存...中国输血杂志-2004-5 41 一种抗感染复合制剂及其制备方法 无 中小企业科技-2004-9 42 关节积液颗粒剂的制备及临床疗效观察 白和平赵力学...中华临床医药杂志（北京）-2004-21 43 洁康舒洗剂制备及临床应用 刘腊娥 陈立新...中成药-2004-11 44 和厚朴酚注射剂制备工艺和含量测定的研究 乌耀华 贾晖...中成药-2004-10 45 小儿清热解毒合剂的制备及质量控制 孙莉[1] 关芳娟[2] 辽宁中医杂志-2004-11 46 复糖萍合剂的制备及临床应用 陈迎平张霞 时珍国医国药-2004-11 47 咳得宁合剂的制备与质量控制 王树平张广求...时珍国医国药-2004-11 48 金黄敷剂的制备与疗效观察 饶双超 胡浪涛...时珍国医国药-2004-11 49 胆乐合剂的制备及质量标准的研究 黄艳 张俊清...现代中药研究与实践-2004-5 50 复方黄柏洗剂的制备及疗效观察 李世根 陈腾...中医药临床杂志-2004-5 51 偶联剂修饰纳米磁性微球的制备及其表征 娄敏毅 王德平...上海生物医学工程-2004-3 52 消增合剂的制备及应用 赵慧 王瑞芳...中国误诊学杂志-2004-3 53 改进的自乳化溶剂挥发法制备的核／壳型Me．PEG-PLA纳米粒的表征 董静[1] 刘明星[1]...药学学报-2004-9 54 人参皂苷C-K静脉乳剂的制备及理化性质考察 张雪梅[1] 王晶[1]...沈阳药科大学学报-2004-6 55 醋酸地塞米松眼用凝胶剂的制备与质量控制 杨红 陈艳...中国药师-2004-11 56 尼美舒利栓剂的制备及其药动学 张先洲 周健...中国医院药学杂志-2004-11 57 硝矾散洗剂的制备和应用 李来秀 潘华 中国医院药学杂志-2004-11 58 烧伤喷雾剂的制备及质量控制 李伟 中成药-2004-11 60 磁性颗粒固相分离剂的制备及其在放射免疫分析中的应用 董墨 张春富...核技术-2004-11 61 谈医院制剂室制备合剂存在的质量问题与对策 马青云 李方瑞 中华当代医学-2004-6 62 益产乐乳合剂的制备及临床应用 李芳 于香安...中国药物与临床-2004-9 63 正交试验优选三效微型灌肠剂的制备工艺 刘华钢[1] 潘小姣[2]...广西中医药-2004-5 64 黄芪软膏剂的制备及质量控制 梁巧楣[1] 田晓东[1]...中药材-2004-9 65 复方土牛膝合剂的制备及临床疗效观察 黄洁媚 中药材-2004-8 66 生长抑素受体显像剂^99Tc^m-HTOC的制备 杜延荣 陈方...中华核医学杂志-2004-4 67 咽咳合剂的制备及临床应用 张彩霞 白雪玲 西北药学杂志-2004-5 68 新疣克星酊剂的制备及质量控制 曹健 张恩娟...中国药房-2004-11 69 烧伤Ⅱ号制剂的制备和临床观察 李月梅 杨红敏 时珍国医国药-2004-10 70 当归补血合剂的制备和临床应用 华西刚 牛桂玲...时珍国医国药-2004-10 71 复方抗乙肝颗粒剂制备工艺和质控标准的研究 吴静[1] 毛晓冬[2] 中国临床医药研究杂志-2004-127 72 健肤洗剂的制备与临床应用简析 张廷明[1] 赵民生[2]...中医药学刊-2004-10 73 复方辛蒿凝胶滴鼻剂的制备及其质量控制 杨明霞[1] 王小新[1]...新疆医学-2004-4 74 非离子表面活性剂微乳的制备及抗菌性考察 张立超 胡晋红...中国医院药学杂志-2004-10 75 参柏凝胶剂的制备及质量控制 孟舒[1] 王玲[1]...中国医院药学杂志-2004-10 76 清咽合剂的制备 吴谋 刘仔...中国医院药学杂志-2004-10 77 磺胺酒精酊剂的制备及质量控制 梁华 华西药学杂志-2004-5 83 氧氟沙星与麻黄碱喷鼻剂的制备及其临床应用 居会祥 华北煤炭医学院学报-2001-3 84 降压Ⅰ号袋泡剂的制备及临床观察 陈俊涛 安徽医药-2000-4 85 银型粘土抗菌剂制备技术 无 中国高校科技与产业化-2000-10 88 治疗剂1，4-二氢吡啶衍生物的制备过程 无 精细化工原料及中间体-2004-8 89 安肤洁洗剂的制备及临床应用 徐兴亚[1] 李倚云[2]...江苏药学与临床研究-2004-5 90 控缓释制剂载体材料聚己内酯的制备及表征 蒋青锋 陈建海...华西药学杂志-2004-4 91 金荞麦合剂的制备与临床应用 薛育梅 吉林中医药-2004-10 92 风寒感冒合剂的制备及临床运用 蔡成华 云南中医中药杂志-2004-5 93 克班宁注射剂制备工艺的初步研究 张壮丽 马云淑...中国中医药信息杂志-2004-7 94 小儿咳喘平合剂的制备及临床应用 王卫[1] 王淑文[2]...中华当代医药-2004-9 95 利多卡因胶浆剂的制备与临床应用 冯建平菏泽医学专科学校学报-2004-1 96 磺胺嘧啶混悬剂的制备及质量标准研究 刘则宗[1] 李玉霞[1]...现代医药卫生-2004-18 97 利巴韦林凝胶剂的制备和质量标准的研究 胡祥珍[2] 乔海艳[1] 解放军药学学报-2004-4 98 ABO血型反定型试剂红细胞的制备及应用评估 邢文革 中国医药导刊-2004-4 99 正交试验优选白色洗剂制备工艺 王玉 李珂珂...中国药业-2004-10 100 Anti—HBsAg单克隆抗体免疫吸附剂的制备及评价 邹长军[1] 谭乃迪[2]...沈阳化工学院学报-2004-3 101 格列美脲凝胶骨架控释贴剂的制备及体内外评价 张援[1] 许东晖[1]...药学学报-2004-8 102 盐酸氨溴索药物树脂混悬剂的制备及物理稳定性的研究 刘宏飞[1] 刘志东[1]...中国新药杂志-2004-8 103 止痒洗剂的制备与应用 孙未平时珍国医国药-2004-9 104 常压与高压煎药机制备汤剂的质量对比研究 刘林娜 中国中医药信息杂志-2004-9 105 养血固冲合剂的制备和临床初步应用 宋福坤 邢卫...江苏中医药-2004-9 106 磺胺噻唑鱼肝油乳剂的制备及质量控制 陈雅[1] 刘华[2] 中国药业-2004-9 107 复方氧麻缓释滴鼻剂的制备及其质量控制 潘柏良[1] 陈晓明[1]...中国药业-2004-9 108 乳辟饮合剂的制备及临床应用 景惠英 中华当代医学-2004-4 109 盐酸布比卡因冻干乳剂的制备 王鸿[1] 杨纲[2]...海峡药学-2004-4 110 痤疮Ⅰ号擦剂的制备、质量控制与临床应用 范展霞[1] 郭艳春[2]...海峡药学-2004-4 111 复方西替利嗪滴鼻剂的制备及质量控制 任耘[1] 崔琳[2]...中国医院药学杂志-2004-9 112 鼻炎合剂的制备及临床应用 何用忠 龚道凯 中国医院药学杂志-2004-9 113 肝澳合剂的制备 张幼芃 陈俊涛 中国医院药学杂志-2004-9 114 乳酸环丙沙星凝胶滴耳剂的制备及质量考察 王明丽 胡祥珍 中国医院药学杂志-2004-5 115 肾炎康袋泡剂的制备及临床应用 吕建伟 霍雨祥 广西中医药-2004-4 116 新生儿退黄合剂的制备及临床应用 于勇 卢佃华...中成药-2004-8 117 牛膝合剂的制备与质量控制 杨青雅 张静燕 西北药学杂志-2004-4 118 感冒合剂的制备与临床观察 吴洁 谢红 西北药学杂志-2004-4 119 止嗽（散）颗粒剂的制备及其生物碱含量的测定 金耀荣 窦玉红 中华实用中西医杂志-2004-22 120 复方替硝唑含漱剂的制备及其质量控制 王晓炜 项琪...赣南医学院学报-2004-3 121 清咽袋泡剂的制备及质量控制 庄洁[1] 景丽华[1]...中国药房-2004-7 122 九味合剂制备工艺的选择 谢崇义 吴杨...中国中医药信息杂志-2004-8 123 盐酸布比卡因冻干乳剂的制备 王鸿[1] 杨纲[2]...中华临床医药杂志（北京）-2004-14 124 克霉唑甘油搽剂的制备、质量控制及临床应用 时艳平尚树宣...儿科药学杂志-2004-4 125 通肾合剂的制备及临床观察 谢岱 马威...时珍国医国药-2004-8 126 益肺合剂的制备及临床观察 汪风芹 孙迎东...时珍国医国药-2004-8 127 清肤合剂的制备工艺及临床应用 喻森林 于开红 时珍国医国药-2004-7 128 复方氯霉素耳用散剂的制备及质量控制 李向东 苏培...天津药学-2004-3 129 ZTC天然澄清剂在麻黄止咳丸制备中的应用 苏兰宜[1] 谢伏明[2] 江西中医学院学报-2004-4 130 妇炎欣栓剂的制备与临床观察 胡三豪 中国医学杂志-2004-6 131 创伤灵搽剂的制备与临床应用 胡三豪 中国医学杂志-2004-6 132 大力克——异丙嗪合剂的制备及质量控制 程万清 程义琳...中国药师-2004-7 133 复方苦参搽剂的制备与临床应用 刘淑涛 中国医院药学杂志-2004-7 134 β-环糊精在穿心莲颗粒剂制备中的应用 王七根 黄慧烽...中成药-2004-7 135 尼群地平小丸的乳化溶剂扩散法制备 姜嫣嫣[1] 崔福德[2] 中国医药工业杂志-2004-7 136 麻仁合剂的制备及临床应用 杨丽 吕秀华 内蒙古中医药-2004-3 137 新生儿用吲哚美辛栓剂的制备与含量测定 刘金来[1] 黄学荪[2]...医药导报-2004-8 138 小剂量反复注射匹罗卡品制备颞叶癫痫大鼠模型 宋毅军[1] 田心[2] 天津医药-2004-7 139 白芷搽剂的制备 刘兴莉 姚志道 新疆医科大学学报-2004-3 140 牙本质脱敏剂在活髓牙制备体上的应用 李苗健 莫三心 口腔医学-2004-3 141 新退热合剂的制备和疗效观察 薛长松 黑龙江中医药-2004-3 142 复方硫凝胶剂的制备与质量控制 许向阳 山东医药.内科(上半月)-2004-17 143 复方苦参洗剂的制备与应用 李忠信 王瑞玲...光明中医-2004-3 144 快速制备抗原／佐剂乳剂的涡旋振荡法 王剑霓 陈锦荣 生物制品快讯-2004-7 145 复方止痒洗剂的制备与应用 金茹[1] 张华[1]...海峡药学-2004-3 146 复方防感凝胶剂的制备与质量控制 尤文质 周向红 海峡药学-2004-3 147 奥硝唑凝胶剂的制备及质量控制 林中[1] 陈赛贞[2]...海峡药学-2004-3 148 复方左氧氟沙星锌洗剂的制备及临床应用 应少华 海峡药学-2004-3 149 复方碘苯甲酸涂剂的制备及疗效观察 张华 王增寿...海峡药学-2004-3 150 盐酸奥昔布宁凝胶剂的制备 倪梅媛[1] 温绪东[2]...齐鲁药事-2004-4 151 痹痛宁贴剂的制备及体外释放、透皮吸收研究 刘继勇[1] 顾清[2]...中成药-2004-6 152 鼻炎宁冲剂的制备及临床应用 郭丰广[1] 孝建华[1]...安徽医药-2004-3 153 药物制剂工艺用水——纯化水的制备技术及装备选择 郭维图 机电信息（南京）-2004-12 154 补阳还五汤制备及对抗大鼠佐剂性关节炎的作用 肖柳英[1] 潘竞锵[1]...中华现代临床医学杂志-2004-06B 155 新生儿用地西泮栓剂的制备及质量控制 黄学荪[1] 刘金来[2] 中国医院药学杂志-2004-6 156 五苦洗剂的制备及临床应用 梁刚文 广西中医药-2004-3 157 辛苍合剂的制备及质量控制 崔宁[1] 马薛梅[2] 山西中医-2004-3 158 痔疮洗剂制备工艺正交实验研究 牟宗芬 朱晓燕 湖北中医杂志-2004-7 159 碘标记阿片受体单光子发射计算机断层显像剂的制备 王荣福 何晓坤...核化学与放射化学-2004-2 160 颈舒巴布剂制备工艺的研究 庄桂霞 袁学勤...中医外治杂志-2004-3 161 实验犬布鲁杆菌诊断试剂的制备和应用 邢进[1] 王春玲[1]...实验动物科学与管理-2004-2 162 强灭万搽剂的制备及临床应用 孙大军[1] 宋红儒[1]...中华中西医学杂志-2004-5 163 小儿益肺平喘合剂的制备及应用 任乃杰 时珍国医国药-2004-6 164 烧伤喷雾剂的制备及临床疗效研究 苏英 时珍国医国药-2004-6 165 二陈颗粒剂的制备及含量测定 陶金成 江西中医学院学报-2004-3 166 洁阴灵洗剂的制备及临床疗效观察 陀有明 刘亿胜...中华临床医药与护理-2004-5 167 妇科洗剂的制备及临床应用 梁学政 吴昭璇...现代医药卫生-2004-11 168 白斑搽剂的制备及临床应用 王宝树 周梁 江西中医药-2004-5 169 盐酸克伦特罗的酶联免疫分析试剂盒的研制-Ⅰ克伦特罗人工抗原及抗体的制备 李利东[1] 宓晓黎[1]...中国卫生检验杂志-2004-1 170 维甲酸纳米颗粒混悬剂的制备及表征 段磊 夏强...东南大学学报：自然科学版-2004-3 171 清咽冲剂的制备及临床应用 刘晓丽 张厚东 中成药-2004-5 172 炎症显像剂^99Tc^m-Ciprotech的制备及动物实验 肖亦明 蒋宁一...中华核医学杂志-2004-2 173 5-HT1A受体显像剂^18F-MPPF的制备及其生物学特性评价 吴春英[1] 林祥通[2]...中华核医学杂志-2004-2 174 一种新的阿片受体显像剂^125I-7α-O-碘烷-特培洛菲的制备及生物学评价 王荣福 何晓坤...中华医学杂志-2004-5 176 靶向超声造影剂的制备及应用研究进展 夏红梅 高云华 中华超声影像学杂志-2004-3 177 实验犬布鲁氏杆菌诊断试剂的制备和应用 邢进[1] 王春玲[1]...中国比较医学杂志-2004-2 178 双氯芬酸钾脂质体制剂的制备及大鼠体外透皮研究 赵凯 王昆...第三军医大学学报-2004-6 179 逍遥合剂的制备与临床应用 孙未平湖北中医杂志-2004-5 180 银翘合剂的制备及质量控制的探讨 郑颖 中国中医药科技-2004-3 181 0．5％脂质体鬼臼毒素壳聚糖膜剂制备配方的优选 朱晓亮[1] 曾抗[1]...中国医师杂志-2004-5 182 全反式维A酸磷脂混合胶团注射剂的制备 朱林 朱家壁...药学学报-2004-3 183 双氯芬酸钠壳聚糖凝胶剂的制备与临床应用 王志朝[1] 刘祖雄[1]...中国药师-2004-5 184 炉甘石薄荷脑洗剂制备方法的改进 韦仕勇 中国药师-2004-5 185 奥昔布宁凝胶剂的制备和体外释药特性 温清[1] 郭瑞臣[2]...山东大学学报：医学版-2004-2 186 盆腔炎合剂的制备与临床应用 于德志 陈峰生...医药导报-2004-6 187 富马酸氯马斯汀干混悬剂的制备及稳定性研究 徐伟[1] 陆军[2] 天津药学-2004-2 188 健肤洗剂的制备与临床应用 曹秀虹 天津药学-2004-2 189 小细胞肺癌单克隆抗体2F7F（ab′）2片段的^99Tc^m标记试剂盒的制备 黄飚[1] 张祥瑞[1]...核技术-2004-5 190 抗磺胺嘧啶单克隆抗体的制备及其ELISA检测试剂盒的建立 赵丕成 袁大为...细胞与分子免疫学杂志-2004-2 191 应用Spurr树脂包埋剂结合多次离心技术制备血液电镜标本 杨慧 沈阳医学院学报-2004-1 192 复方止痒灵酊剂的制备及临床应用 蔡桂英 朱秀莲 中国临床医药研究杂志-2004-112 193 尼美舒利栓剂的制备及质量控制 潘旭初[1] 张先洲[2] 中国药学杂志-2004-3 194 复方党参栓剂的制备及含量测定 毛丹卓 裴元英 中国临床药学杂志-2004-2 195 鼻炎清滴鼻剂的制备及临床应用 朱霞美 中国医学研究与临床-2004-5 196 新辅料在固体制剂制备中的应用 杜月莲 高萧枫 国际医药卫生导报-2004-8 197 消肿冲剂的制备及疗效观察 马萍 于卓...中国医院药学杂志-2004-4 198 ZTC-Ⅲ型天然澄清剂在中风安口服液制备中的应用 张咏梅[1] 赵振彪[1]...中成药-2004-4 199 JH澄清剂在肺炎颗粒剂制备工艺中的应用 贺冰 滕亮...中成药-2004-4 200 脂质体鬼臼毒素壳聚糖膜剂制备及膜剂中鬼臼毒素含量的测定 曾抗[1] 朱晓亮[1]...第一军医大学学报-2004-4 201 蚓激酶肠溶包衣微丸的制备及其胶囊剂释放度研究 张俐伟 江西中医学院学报-2004-2 202 林蛙油颗粒剂制备工艺初探 杨锦竹[1] 韩丛成[1]...人参研究-2004-1 203 灭菌和无菌制剂及其制备技术发展概况 吕慧侠 周建平机电信息（南京）-2004-6 204 二氧化氯消毒剂的制备及其应用 宋丽英 李素娟...白求恩军医学院学报-2004-1 205 藿黄浸剂的制备与质量控制 张源 中华现代中西医杂志-2004-3 206 痤疮搽剂的制备及其疗效观察 雷燕 中国医学研究与临床-2004-2 207 新型生物降解交联剂的制备及其在壳聚糖交联膜中的应用 杨媛 李立华...材料科学与工程学报-2004-2 208 免疫脂质体微泡造影剂的制备及体外靶向研究 卞爱娜 高云华...中国医学影像技术-2004-3 209 胃舒剂的制备及临床应用 张小明 钱琳...中国医学理论与实践-2004-1 210 胰岛素舌下粉剂的制备及其含量的测定 彭红 高秋华...广东药学院学报-2004-1 211 盐酸洛美沙星中空栓剂的制备及其稳定性 韩翠艳 翟伟宇...中国医院药学杂志-2004-3 212 疱痛平喷雾剂的制备与临床应用 许爱霞 张明德...中国医院药学杂志-2004-3 213 希尔康合剂的制备与临床治疗 刘秋鹤 中国医院药学杂志-2004-3 214 消肿冲剂的制备及疗效观察 马萍 于卓...中国医院药学杂志-2004-3 215 球型纤维素固定Anti—HBsAg单克隆抗体制备免疫吸附剂 邹长军 化学与生物工程-2004-1 216 利咽解毒合剂的制备及临床应用 揣莘桂 黄国玉...中国校医-2004-1 217 银杏酸凝胶剂的制备及抑菌试验研究 张小利 欧阳臻...中药新药与临床药理-2004-2 218 外用消痔坐浴袋泡剂的制备及临床应用 兰树敏 卢慧勤...中国药师-2004-3 219 胸肋合剂的制备及临床应用 钱文林 时珍国医国药-2004-2 220 复方白及冲剂的制备及临床应用 姜玲艳 汪付田...甘肃中医-2004-3 221 壮骨灵颗粒剂的制备及临床应用 鲍华山 马巽奕 江苏药学与临床研究-2004-1 222 极固宁^TM和Gluma脱敏剂治疗烤瓷牙牙体制备致牙本质过敏症的疗效观察 杨立新 付强...广东牙病防治-2004-1 223 上感清滴鼻剂的制备 罗志广 儿科药学杂志-2004-1 224 丹皮酚制备工艺、剂型改革及临