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微机电系统(MEMS)技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法 GBT 42158-2023.pdf
微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法 GBT 34893-2017.pdf
微机电系统(MEMS)技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法 GBT 38341-2019.pdf
微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法 GBT 34900-2017.pdf
微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法 GBT 38447-2020.pdf
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